Zara Domain不良的研究与改善

• 作者: 岳麓 左爱翠 汤列金 滕玲 陈维诚 高荣荣
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: ZaraDomain 配向膜 配向弱区 急速冷却
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 267-272
• 页数: 6页
• 分类号: TN141.9
• 字数: 3063字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20193403.0267

摘要

Zara Domain是TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)行业TN型产品中常见的不良,严重影响着产品的良率.本文通过对101.3 mm(3.97 in)TN产品的大量实验,系统分析和研究了Zara Domain问题.研究结果表明:优化产品设计、工艺参数、工艺管控都可有效地管控Zara Domain的发生率.首先通过调控矩阵工厂刻蚀工艺,确保Shield Bar坡度角保持在45°左右时,Zara Domain发生率为0％.其次在盒工厂摩擦工艺段,也可通过调控摩擦滚轮的摩擦强度值来提高摩擦后配向能力的均一性来降低Zara Domain的发生率.实验发现当摩擦强度值保持在2.3 N·m时,Zara Domain的发生率<1％.另外通过改善对盒过程中高温固化的冷却工艺,在设备上方增加空调扇,加速冷却,也可使Zara Domain的发生率<1％.本文通过对101.3 mm(3.97 in)TN产品系统的研究,有望为解决Zara Domain不良提供一定的技术支持.