基于磁致伸缩多层膜的磁声表面波传感器

• 作者: 刘力 刘国 刘婉 白飞明 鲁亚巍
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 磁传感器 软磁薄膜 杨氏模量效应 各向异性 声表面传感器
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 页码范围: 335-339,343
• 页数: 6页
• 分类号: TN65|TN384|TM930
• 字数: 2563字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2019.03.004

摘要

研究了一种基于FeCoSiB/SiO2多层膜的磁声表面波(MSAW)传感器,其中FeCoSiB/SiO2多层膜制备在石英声表面波(SAW)谐振器上.在外加磁场发生变化时,FeCoSiB/SiO2多层膜通过巨杨氏模量效应影响压电衬底表层的相速度,进而改变SAW的谐振频率.通过设计和优化磁致伸缩多薄膜的结构和软磁性能,不仅获得磁致伸缩层总厚度与谐振器品质因数的关系,而且成功使磁敏传感器的灵敏度(Δf/H,即施加单位磁场时的谐振频率的变化量)提升了2个数量级,达到419 Hz/μT.在此基础下,探讨了 Δf-H曲线在难、易轴方向表现出蝴蝶型和回线型特性的机理.由于该传感器具有很高的磁场灵敏度和良好的方向选择性,在微弱磁场(如地磁场)检测领域将具有极高的实用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	白飞明	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	9	42	4.0	6.0
2	刘婉	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	3	2	1.0	1.0
3	鲁亚巍	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	0	0.0	0.0
4	刘国		3	0	0.0	0.0
5	刘力	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	0	0.0	0.0