8英寸量产12英寸试生 产国内最大的大硅片厂在杭投产

• 来源期刊: 半导体信息
• 学科: 经济
• 关键词: 技术路线图 集成电路制造 试生产阶段 光刻工艺 中国(上海) 量产 硅片 圆桌会议
• 年，卷（期）: bdtxx_2019,（5）
• 页码范围: 36-37
• 页数: 2页
• 分类号: F42

摘要

杭州中欣晶圆半导体股份有限公司大硅片项目近日在杭州钱塘新区竣工投产,实现了8英寸大硅片的正式量产,同时12英寸大硅片生产线进入调试、试生产阶段。36上海将牵头制定中国集成电路技术路线图中国集成电路发展的“蓝图”即将面世。从近日举行的2019中国(上海)集成电路创新峰会院士圆桌会议获悉,上海将牵头制定“中国集成电路技术路线图”,担纲重任的是国家集成电路创新中心。此次公布的《中国集成电路技术路线图(草稿)》由集成电路制造技术现状和发展趋势、先进光刻工艺发展趋势等六大部分组成。