可见/近红外超光谱碲镉汞焦平面研究

• 作者: 丁瑞军 何力 刘丹 廖清君 张姗 林春 沈益铭 钟艳红 陈洪雷 魏彦锋
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 超光谱探测 可见/近红外成像 碲镉汞 衬底去除 量子效率
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 光电信息获取与处理
• 页码范围: 429-434
• 页数: 6页
• 分类号: TN219
• 字数: 2560字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201940.0202004

摘要

为了满足可见-近红外波段的高光谱分辨率和高灵敏观测需求,采用大面阵、低噪声碲镉汞焦平面制备技术和低损伤衬底去除技术,成功制备了高信噪比大面阵可见/近红外碲镉汞焦平面探测器.无损衬底去除技术采用机械抛光和化学腐蚀相结合的方法,使焦平面的响应波段拓展至400 nm～2 600 nm.采用信号定量化焦平面测试评价手段对可见/近红外碲镉汞焦平面的性能进行评估,640×512 25 μm中心距碲镉汞焦平面的波段量子效率可达到88.4％,信噪比达到287,有效像元率大于98％,能够获得清晰的可见和近红外波段图像.