同步辐射用Au-Pt多层薄膜反射镜

• 作者: 冯宇飞 王占山 陈加琪 黄秋实 齐润泽
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 同步辐射 磁控溅射 Au-Pt薄膜 表面粗糙度 反射率
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 同步辐射技术及应用
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: O434|TL99
• 字数: 2170字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11889/j.0253-3219.2019.hjs.42.030101

摘要

同步辐射广泛使用Au薄膜作为反射镜膜层,降低Au薄膜的粗糙度以减小散射信号仍是难点.基于国内外对Au薄膜的研究,本文采用在Au薄膜中插入Pt间隔层的方法,制备了新型Au-Pt薄膜.原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)测试结果表明:采用1 nm厚的Au膜层和1 nm厚的Pt间隔层交替制备的方法所获得的新型Au-Pt薄膜,粗糙度小于0.3 nm,明显小于传统Au薄膜的粗糙度;通过X射线衍射(X-ray Diffractometer,XRD)测试可以发现,Pt间隔层的插入能够有效抑制Au膜结晶.随着Pt间隔层插入间隔的减小,Au膜结晶程度显著降低.根据AFM测试结果,使用IMD软件计算了传统Au薄膜以及新型Au-Pt薄膜的反射率,发现新型Au-Pt薄膜反射率比传统Au薄膜略有提高,同时新型Au-Pt薄膜的表面粗糙度更小,降低了散射强度,提升了反射镜的实际性能.本文为用于同步辐射的高传输效率、高反射率的Au-Pt薄膜反射镜的制备提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王占山	同济大学物理科学与工程学院先进微结构材料教育部重点实验室	92	640	14.0	19.0
2	齐润泽	同济大学物理科学与工程学院先进微结构材料教育部重点实验室	2	1	1.0	1.0
3	黄秋实	同济大学物理科学与工程学院先进微结构材料教育部重点实验室	5	1	1.0	1.0
4	陈加琪	同济大学物理科学与工程学院先进微结构材料教育部重点实验室	1	1	1.0	1.0
5	冯宇飞	同济大学物理科学与工程学院先进微结构材料教育部重点实验室	1	1	1.0	1.0