微小缝隙式层流流量计设计及测量特性研究

• 作者: 张凯 王筱庐 蒋宇翔 陈玉春
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 层流流量计 微小气体流量 缝隙式 不确定度 线性度
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 精密测量与仪器
• 页码范围: 48-54
• 页数: 7页
• 分类号: TH814
• 语种: 中文
• DOI: 10.19650/j.cnki.cjsi.J1905584

摘要

为解决层流流量计(LFM)线性度不佳的问题,提出了一种微小缝隙式LFM,并介绍了层流流量计的测量原理、结构设计及参数计算.对一台设计流量范围约为0～280 mL/min的试验件进行了试验,试验中使用的标准装置为活塞标准装置,合成不确定度为0.12％,扩展不确定度为0.24％(k=2).试验结果显示,在未使用任何修正系数的前提下,试验件最大引用误差为-0.90％.试验件基本达到准确度1.0级的设计指标,量程比10∶1.此外试验件线性度优良,其Remaxde/l值为3.42,大于传统要求的2～2.5,说明此结构设计可有效克服突扩突缩带来的非线性影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈玉春		96	737	16.0	21.0
2	张凯		83	303	10.0	13.0
3	王筱庐		3	1	1.0	1.0
4	蒋宇翔		2	0	0.0	0.0