基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿研究

• 作者: 宿建斌 巨永锋 文常保 王蒙 钟晨昊
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 检测技术 温度补偿 DE-SVM 硅基材料 压阻式压力传感器
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 1493-1498
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 字数: 3765字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2019.10.011

摘要

针对硅基压阻式压力传感器易受环境温度影响的特点,提出了一种基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿方案.该方案主要由训练数据预处理模块、DE参数寻优模块、SVM训练模块、数据采集模块、测量数据预处理模块及SVM校正等模块组成,以SVM算法的非线性回归功能为核心,通过DE算法优化SVM参数,经训练后得到温度校正模块,模块接收测量数据后输出校正后的压力值.实验表明,对单个传感器压力值使用DE-SVM模型进行校正,最大误差和均方误差分别下降了93.87％和99.89％;在七块硅基压阻式压力传感器构成的多传感器情况下,最大误差和均方误差分别下降了93.17％和99.27％,平均相对误差由14.06％下降至1.20％;最后选取训练数据不包含的温度点使用所建立的模型进行测试,模型仍能够较好地进行温度补偿.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巨永锋	长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所	142	1091	15.0	28.0
2	文常保	长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所	39	191	7.0	12.0
3	钟晨昊	长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所	8	9	2.0	2.0
4	王蒙	长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所	8	131	2.0	8.0
5	宿建斌	长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所	2	2	1.0	1.0