X-Y直线电机精密运动平台的轮廓误差主动补偿

• 作者: 于作超 王杰 王荣坤
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 轮廓误差 主动补偿 X-Y运动平台 直线电机 跟踪误差
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1536-1543
• 页数: 8页
• 分类号: TP273|TM359.4
• 字数: 3960字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20192707.1536

摘要

为了减小X-Y直线电机精密运动平台同步控制的轮廓误差,提高系统的控制精度,针对传统交叉耦合控制结构的不足,提出多电机控制系统的轮廓误差主动补偿结构.首先,以永磁同步直线电机为例分析单轴伺服定位跟踪误差,指出跟踪误差和位置参考有关,结合实际工况中参考指令的扰动,将耦合补偿量最终统一为参考指令的校正加入到系统中,提出轮廓误差主动补偿结构,将轮廓误差补偿量分别补偿到各轴伺服的位置环和速度环,并通过仿真和实验进行验证.结果表明:采用主动补偿方法的X-Y两轴运动平台跟踪大曲率复杂轨迹的轮廓误差平均值为20.68μm;单轴跟踪误差最大值为70μm.相比传统交叉耦合控制结构,主动补偿结构轮廓误差精度提高了15.5％,同时降低了单轴的跟踪误差,并能抑制参考指令扰动.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王杰	华侨大学信息科学与工程学院	2	3	1.0	1.0
2	王荣坤	华侨大学信息科学与工程学院	3	1	1.0	1.0
3	于作超	华侨大学信息科学与工程学院	1	0	0.0	0.0