碲镉汞液相外延石墨舟的温度场均匀性改善

• 作者: 万志远 木胜 朱辉 李东升 杨岸 王志斌 薄俊祥 陆骏 黄元晋
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 石墨舟 温度场均匀性 碲镉汞 LPE
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 299-304
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.2|O484.1
• 字数: 4350字
• 语种: 中文

摘要

对碲镉汞液相外延(Liquid phase epitaxy,LPE)石墨舟进行了数值模拟,计算了石墨舟温度场分布.通过在母液周围加入石英框,分析其对温度场的影响,得到了石英框壁厚与温度分布的关系.模拟发现,在母液周围加入石英框结构,可以提高外延生长界面温度场均匀性.最后,将分析结果与实验相结合,进行实验验证,成功降低了边界效应对碲镉汞薄膜的影响,外延生长出厚度极差?δ为1.4μm、组分极差?x不超过0.002的长波碲镉汞薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李东升		27	43	3.0	4.0
2	木胜		2	0	0.0	0.0
3	万志远		5	8	2.0	2.0
4	王志斌		2	0	0.0	0.0
5	陆骏		2	0	0.0	0.0
6	朱辉		1	0	0.0	0.0
7	薄俊祥		2	0	0.0	0.0
8	杨岸		1	0	0.0	0.0
9	黄元晋		2	2	1.0	1.0