基于激光外差干涉术的薄膜厚度测量方法

• 作者: 时凯 苏俊宏 齐媛
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉 外差 薄膜厚度 测量
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 光学计量与测试
• 页码范围: 473-477
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 字数: 2794字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201940.0303003

摘要

针对光学薄膜厚度测量困难问题,提出了一种基于激光外差干涉术的薄膜厚度测量方法.采用经典迈克尔逊干涉光路,利用外差干涉原理将薄膜厚度差转换为光程差,以精密位移平台为扫描机构实现薄膜厚度的逐行扫描测量.测量系统在恒温实验条件下20 min内的漂移不超过8mm,测量结果平均差小于1nm,通过与椭圆偏振仪的测量结果比较,测量差值为12.97nm,表明了该方法的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏俊宏	西安工业大学光电工程学院	111	496	12.0	16.0
3	时凯	西安工业大学光电工程学院	9	16	2.0	3.0
5	齐媛		6	12	2.0	2.0