单晶炉压力自动控制系统的实现

• 作者: 李海霞 杜青青
• 来源期刊: 工业仪表与自动化装置
• 关键词: 单晶炉 真空与充气系统 压力控制 PID
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 93-96
• 页数: 4页
• 分类号: TF806.9
• 语种: 中文

摘要

根据硅单晶炉真空系统技术特点,从炉内真空系统的抽气、充气控制等方面进行改进和完善,并采用带有前馈的PID算法实现压力的自动控制.结合工业PLC和人机界面进行编程,在实际工业中的应用表明,该压力自动控制系统可保证炉内真空达到高稳定性,拉出高品质单晶.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李海霞		14	18	2.0	4.0
2	杜青青		7	9	2.0	2.0