超导Nb膜表面减反膜技术研究

• 作者: 刘文德 李劲劲 王君 王雪深 郑春弟 钟青 马晓欢
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 减反膜 超导Nb膜 介质膜 单光子探测芯片
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 78-81
• 页数: 4页
• 分类号: TB96
• 字数: 2414字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2019.01.12

摘要

针对单光子探测芯片中超导Nb膜减反的问题,研究了磁控溅射Nb膜折射率光谱特性随Nb膜厚度变化的规律,同时研究了化学气相沉积法制备的SiO2和SiNx介质膜的折射率光谱特性.为降低超导Nb膜对633 nm光的反射比,在Nb膜表面设计和制备了SiO2和SiNx减反膜.测试结果表明:SiO2和SiNx使反射比明显减小,计算结果验证了这一趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟青		13	23	3.0	4.0
2	郑春弟		22	163	6.0	12.0
3	王君	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院	50	89	5.0	7.0
4	李劲劲		8	11	3.0	3.0
5	刘文德		13	15	2.0	3.0
6	王雪深		5	4	1.0	2.0
7	马晓欢	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院	4	0	0.0	0.0