气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量

• 作者: 任国杨 杨红燕 毛智慧 陶明
• 来源期刊: 中国氯碱
• 学科: 工学
• 关键词: 气相色谱 毛细管柱 氢化尾气 多晶硅
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 检测与自控
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: TQ075+.3
• 字数: 2430字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-1785.2019.01.011

摘要

建立了气相色谱法测定多晶硅生产氢化尾气中组分含量的方法.采用双通道气相色谱仪,DB-1毛细管色谱柱进行分离,用单丝热导检测器进行检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛智慧		2	0	0.0	0.0
3	杨红燕		4	3	1.0	1.0
9	陶明		1	0	0.0	0.0