窄流道式MOCVD制备YGBCO超导层研究

• 作者: 徐一鲡 苟继涛 贺冠园 赵睿鹏 陈然 陶伯万
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 窄流道 金属有机化学气相沉积 YBa2Cu3O7-x 高温超导带材
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 466-471
• 页数: 6页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2687字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.06.03

摘要

金属有机化学气相沉积能连续、快速的沉积高温超导带材YBa2Cu3O7-x(YBCO)超导层.但金属有机源的利用率与薄膜沉积速率以及沉积一致性难以兼顾,制备YBCO高温超导带材的成本居高不下.本文提出了一种新的窄流道式反应室以改进薄膜沉积的一致性.在200 mm长度腔体中沉积的280 nm厚的Y0.5Gd0.5 Ba2Cu3O7-x薄膜Jc分布在3.2 ～3.5MA/cm2 (77 K,0 T),面外、面内半高宽值分别在1.39°～1.49°和1.88°～2.13°,表面平整致密.YBCO薄膜良好的一致性表明该窄流道反应室对制备YBa2Cu3O7-x超导带材有好的实用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陶伯万	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	39	165	5.0	10.0
2	苟继涛	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	0	0.0	0.0
3	赵睿鹏	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	0	0.0	0.0
4	徐一鲡	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	0	0.0	0.0
5	贺冠园	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
6	陈然	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	0	0.0	0.0