多叉指Rayleigh波器件的建模及特性研究

• 作者: 巨永锋 文常保 洪吉童 牛涛涛 王蒙
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 多叉指换能器 Rayleigh波 有限元分析 三维建模 模态分析
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 页码范围: 485-488
• 页数: 4页
• 分类号: TN65|TN602
• 字数: 2135字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2019.04.006

摘要

针对目前改变Rayleigh波器件中波的传播方向和强度较复杂的问题,提出了一种多叉指Rayleigh波器件结构和三维建模方案.该三维建模方案用有限元分析法去逼近实际器件的压电基片和叉指换能器等真实器件结构和尺寸.选取压电基片材料为128°YX-LiNbO3、叉指换能器为Al电极,分别对叉指换能器数目为4、6、8的多叉指Rayleigh波器件进行三维模型实验,验证了该器件的可行性.实验结果表明,多叉指Rayleigh波器件可以在不同角度激发Rayleigh波,该波只有x、y方向的质点位移分量,且质点的最大位移主要集中在器件表面的中心位置.此外,器件的模态频率和质点最大位移随着叉指换能器数目的增加而增大,由此产生的Rayleigh波强度和器件的混合性能也会增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巨永锋	长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所	142	1091	15.0	28.0
2	文常保	长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所	39	191	7.0	12.0
3	王蒙	长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所	8	131	2.0	8.0
4	牛涛涛	长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所	3	0	0.0	0.0
5	洪吉童	长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所	3	1	1.0	1.0