射频磁控溅射不锈钢衬底AlN薄膜的制备与特性研究

• 作者: 樊志琴 陈飞跃
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: AlN薄膜 射频磁控溅射 XRD 荧光光谱 拉曼光谱
• 年，卷（期）: 2019,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 2201-2206
• 页数: 6页
• 分类号: TB383
• 字数: 4332字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2019.12.006

摘要

利用正交实验设计方法,采用射频磁控溅射法在不锈钢衬底上制备了AlN薄膜,并利用XRD、激光拉曼光谱、荧光光谱等技术对AlN薄膜的结构及发光特性进行了表征.通过实验数据分析,得出如下结论:利用射频磁控溅射法在不锈钢衬底上制备的纤锌矿结构AlN薄膜,在所有参数下,(100)面最易生长;在溅射功率为300～400 W、衬底温度为100～200 ℃、氮气流量百分比为30％、溅射时间为1 h时,制备出的AlN薄膜结晶状况较好.制备出的AlN薄膜没有明显的拉曼峰,但不锈钢衬底不仅有拉曼峰,而巨在紫外区有很强的荧光发射峰.在不锈钢上镀膜后,拉曼峰的强度有所变化并巨伴随着频移.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊志琴	河南工业大学理学院	30	115	6.0	9.0
2	陈飞跃	河南工业大学理学院	1	0	0.0	0.0