联氨溶液钝化GaAs(100)表面特性及其发光性能

• 作者: 徐雨萌 薄报学 高欣
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 联氨 GaAs 钝化 光致发光 GaN
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 材料合成及性能
• 页码范围: 1234-1239
• 页数: 6页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2461字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20194010.1234

摘要

为了有效降低GaAs表面态密度,获得稳定的高性能钝化膜,使用联氨溶液钝化GaAs(100)表面.通过光致发光对联氨溶液浓度、Na2 S浓度和钝化时间进行了优化.联氨溶液钝化后GaAs样品的PL比未处理的增加了1.22倍.采用X射线光电子能谱和原子力显微镜分析了联氨溶液钝化前后GaAs的表面成分和形貌.结果表明,联氨溶液钝化GaAs表面可以有效地去除表面氧化物,形成均匀、平整的GaN钝化层.通过表面稳定性测试发现,钝化后的GaAs表面在空气中放置数天,光致发光强度未见明显的退化(30 d内PL强度降低7％),说明钝化后GaAs表面的稳定性良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高欣	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	38	214	8.0	13.0
2	薄报学	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	44	252	9.0	14.0
3	徐雨萌	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	8	3	1.0	1.0