纳米压痕条件下单晶锗的尺寸效应

• 作者: 余证 刘宁 刘浩 杨晓京
• 来源期刊: 有色金属工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米压痕 尺寸效应 Nix-gao模型 尺寸效应因子
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 材料制备与加工
• 页码范围: 8-13
• 页数: 6页
• 分类号: TG115.5+1
• 字数: 3859字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1744.2019.04.002

摘要

采用准静态法对单晶锗(111)晶面进行了纳米压痕实验,对单晶锗(111)晶面的位移-载荷曲线及硬度-压深曲线进行了分析.结果 表明,在压入深度为471.36 nm时,单晶锗(111)晶面的加载曲线上出现突进点,随着压入深度的进一步增加,突进点逐渐增多.该点对应为单晶锗(111)晶面由塑性变形向脆性断裂转变的临界点.单晶锗卸载曲线上出现突退点,突退点对应为单晶锗由弹性变形向塑性变形转变的临界点.单晶锗(111)晶面的硬度和弹性模量均呈现出随压入深度的增加而减小的趋势,表现出明显的尺寸效应.基于Nix-Gao模型对单晶锗(111)晶面的硬度与压深关系进行曲线拟合,得到无尺寸效应时的纳米硬度为8.399 GPa,微观特征长度为131.907 nm,尺寸效应因子为0.168.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨晓京	昆明理工大学机电工程学院	115	997	17.0	28.0
2	刘宁	昆明理工大学机电工程学院	26	44	4.0	5.0
3	刘浩	昆明理工大学机电工程学院	8	13	2.0	3.0
4	余证	昆明理工大学机电工程学院	5	0	0.0	0.0