多晶硅还原炉系统余热回收利用

• 作者: 吴燕平
• 来源期刊: 山东化工
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 还原炉 节能能耗 余热回收利用
• 年，卷（期）: 2019,（21）
• 所属期刊栏目: 生产与应用
• 页码范围: 104-106
• 页数: 3页
• 分类号: TQ052.6
• 字数: 2959字
• 语种: 中文

摘要

高纯的SiHCl3与H2在还原炉内1100℃左右高温下发生化学气相沉积反应,在硅芯上沉积而生成多晶硅,还原炉是多晶硅生产中电耗最高的设备,本文通过利用高温热水对还原炉的夹套、底盘及尾气进行冷却,加热后的热水进行闪蒸,年产6000 t的多晶硅规模,通过热量回收能产生0.3 MPa(g)的低压蒸汽44.77 t/h.达到节能降耗的目的,从而降低多晶硅生产的成本,以提高行业的竞争能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴燕平		2	0	0.0	0.0