基于复合绝缘层SiNx/PMMA的有机金属-绝缘层-半导体器件

• 作者: 孙丽晶 孙强 朱阳阳 王丽娟 王璐 谢强 闫闯
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 化学
• 关键词: 复合绝缘层 金属-绝缘层-半导体 聚甲基丙烯酸甲酯 氮化硅 回滞效应
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 773-780
• 页数: 8页
• 分类号: O649
• 字数: 2026字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20194006.0773

摘要

为改善有机半导体器件的界面性能,在氮化硅层上旋涂聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)构成复合绝缘层.首先,利用原子力显微镜研究了不同浓度的PMMA复合绝缘层的表面形貌及粗糙度.接着,蒸镀六联苯(p-6P)、酞菁铜和金电极,构成有机的金属-绝缘层-半导体(MIS)器件.最后,研究了MIS器件的回滞效应及电性能.实验结果表明,复合绝缘层的粗糙度为单绝缘层的1/5,大约1.4 nm.复合绝缘层上的p-6P薄膜随着PMMA浓度增加形成更大更有序的畴,但单绝缘层上薄膜呈无序颗粒状.复合绝缘层的有机MIS器件几乎没有回滞现象,但单绝缘层的器件最大回滞电压约为12.8 V,界面陷阱电荷密度约为1.16×1012 cm-2.复合绝缘层有机薄膜晶体管的迁移率为1.22×10-2 cm2/(V·s),比单绝缘层提高了60％,饱和电流提高了345％.基于复合绝缘层的MIS器件具有更好的界面性能和电性能,可应用到有机显示领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王璐	长春工业大学化学工程学院	44	110	6.0	8.0
2	王丽娟	长春工业大学化学工程学院	11	37	4.0	6.0
3	谢强	长春工业大学化学工程学院	5	25	3.0	5.0
4	孙丽晶	长春工业大学材料科学与工程学院	12	53	3.0	7.0
5	闫闯	长春工业大学化学工程学院	3	4	2.0	2.0
6	孙强	长春工业大学化学工程学院	3	5	1.0	2.0
7	朱阳阳	长春工业大学化学工程学院	2	5	1.0	2.0