介质阻挡放电离子源背景噪声抑制方法数值模拟研究

• 作者: 刘其强 毕磊 洪欢欢 胡舜迪 闻路红
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 介质阻挡放电 噪声抑制 等离子体流体模型 数值模拟
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 644-652
• 页数: 9页
• 分类号: O539
• 字数: 4962字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.08.05

摘要

针对单电极介质阻挡放电离子源(DBDI)的外置金属网抑制环境背景噪声技术,采用二维等离子体流体模型进行了数值模拟研究.通过对比施加金属网前后单电极DBDI低温等离子体羽流(LTPP)中各物种的演化发展特性,给出了金属网孔隙参数在调控LTPP效能方面的一般规律.结果 表明,金属网通过显著提高DBDI等离子体羽流的亚稳态离子总量并抑制背景杂质离子,从而提升其软电离效果和质谱检测信噪比.特别地,当金属网孔隙为0.5 mm时,亚稳态离子总量占比提高了约5.3倍;各离子密度峰值降低了3倍以上,而He*、N2*的密度峰值则分别增大了7.86倍和2.31倍.随着金属网孔隙不断减小,亚稳态离子总量占比越高,但当孔隙为0.3 mm时,亚稳态离子总量开始减小;在0.3 mm≤g≤0.4 mm范围内,可获得更好的背景离子抑制效果,从而有效抑制背景噪声影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	洪欢欢	宁波大学高等技术研究院	9	14	2.0	3.0
2	胡舜迪	宁波大学高等技术研究院	11	8	2.0	2.0
3	闻路红	宁波大学高等技术研究院	20	35	4.0	5.0
12	刘其强	宁波大学高等技术研究院	2	2	1.0	1.0
13	毕磊	宁波大学高等技术研究院	2	0	0.0	0.0