同轴阻抗变换器低气压放电研究

• 作者: 叶鸣 崔万照 张勇 李韵 王瑞 茅张松 贺永宁
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微波击穿 低气压放电 同轴阻抗变换器 功率阈值
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 624-630
• 页数: 7页
• 分类号: TN13
• 字数: 3488字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.08.02

摘要

低气压放电效应是由微波电离击穿引起的气体放电现象,是限制大功率微波部件功率容量的关键可靠性问题之一.以同轴结构微波部件为研究对象,对S波段同轴阻抗变换器进行了低气压放电实验研究.实验结果表明:同轴阻抗变换器的低气压放电行为近似符合帕邢曲线.基于考虑扩散、电离、吸附的气体放电理论,建立了同轴传输线结构微波电离击穿功率阈值的计算模型.模型计算结果表明:气体温度升高会导致微波电离击穿阈值曲线向低气压区域平移;局部场增强效应会降低同轴阻抗变换器的低气压放电功率阈值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张勇	西安交通大学微电子学院	195	1344	19.0	31.0
2	贺永宁	西安交通大学微电子学院	58	265	9.0	12.0
3	王瑞	中国空间技术研究院西安分院空间微波技术科技重点实验室	14	81	3.0	9.0
4	李韵	中国空间技术研究院西安分院空间微波技术科技重点实验室	7	26	3.0	5.0
5	崔万照	中国空间技术研究院西安分院空间微波技术科技重点实验室	43	169	8.0	11.0
6	叶鸣	西安交通大学微电子学院	22	99	6.0	9.0
7	茅张松	西安交通大学微电子学院	2	0	0.0	0.0