N2气流量比对磁控溅射Mo-N涂层结构和性能的影响

• 作者: 宋健宇 沈龙海 齐东丽
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 Mo-N涂层 N2气流量比 显微硬度 结合强度 摩擦磨损性能
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 表面摩擦磨损与润滑
• 页码范围: 173-178
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.4
• 字数: 3280字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2019.02.025

摘要

目的 研究N2气流量比对直流反应磁控溅射Mo-N涂层结构、力学性能和摩擦性能的影响.方法 采用直流反应磁控溅射技术在304不锈钢基体表面制备Mo-N涂层,对涂层结构进行X射线衍射(XRD)分析,对涂层形貌和磨痕形貌进行扫描电镜(SEM)分析,采用维氏显微硬度计测试涂层的显微硬度,采用划痕法表征涂层的结合强度,采用球盘式摩擦磨损试验仪评价涂层的摩擦磨损性能.结果 随着N2气流量比R从0.3增加至0.7,涂层主要由面心立方γ-Mo2N相构成,当R为0.7时,制备的涂层中出现少量的六方δ-MoN相.涂层的显微硬度先降低后增加,最高硬度可达3060HV.结合强度先增加后降低,当R为0.4和0.5时,涂层的结合力较高,约为40 N,且具有较好的摩擦学性能,平均摩擦系数约为0.22,磨损形式主要为磨粒磨损.结论 在基体温度为300℃时制备涂层,N2气流量比在0.3～0.7的范围变化对涂层相结构的影响较小.硬度相对较高时,结合力越好,摩擦学性能越好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈龙海		23	41	4.0	5.0
2	齐东丽		10	11	1.0	3.0
3	宋健宇		3	1	1.0	1.0