激光跟踪干涉仪在坐标测量机检测中的应用

• 作者: 张福民 杨国梁 林虎 秦海濛 薛梓
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 误差检测 激光跟踪干涉仪 坐标测量机 最小二乘法 高斯牛顿法
• 年，卷（期）: 2019,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TB921
• 字数: 3906字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2019.z1.01

摘要

激光跟踪干涉仪具有自跟踪功能,测量空间对角线时相对激光干涉仪更方便,因此对激光跟踪干涉仪检测坐标测量机的原理和方法开展研究.对激光跟踪干涉仪采用不同分布开展了基站坐标自标定实验,得到基本一致的基站站位坐标;在此基础上开展了激光跟踪干涉仪和激光干涉仪的应用对比实验.实验结果表明二者测量500 mm长度的最大差值为0.37 μm,线性补偿后小于0.1μm.因此验证了激光跟踪干涉仪检测方法的正确性和可行性,为坐标测量机检测提供了一种更便捷的方法,尤其适用于受实物标准器尺寸限制的大型坐标测量机检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛梓		32	62	5.0	6.0
2	张福民	天津大学精密仪器与光电子工程学院	66	612	15.0	23.0
3	林虎		4	8	1.0	2.0
4	杨国梁		13	38	4.0	6.0
5	秦海濛	天津大学精密仪器与光电子工程学院	2	0	0.0	0.0