Si含量对(AlCrTiZrHf)-Six-N高熵薄膜微观结构和力学性能的影响

• 作者: 何代华 刘平 刘新宽 张柯 李伟 牛景锐 陈小红 马凤仓
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: (AlCrTiZrHf)-Six-N薄膜 微观结构 力学性能 纳米复合结构
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺·技术
• 页码范围: 191-196
• 页数: 6页
• 分类号: TG146.2
• 字数: 4640字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2019.06.033

摘要

采用自制的复合靶材,通过直流磁控溅射技术,在单晶Si基片上沉积一系列不同Si含量的(Al-CrTiZrHf)-Six-N高熵薄膜,并依次采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、高透射电子显微镜(HR-TEM)和纳米压痕仪对薄膜进行表征和测试,研究Si含量对其微观结构和力学性能的影响.实验结果显示,(Al-CrTiZrHf)N薄膜成柱状晶生长,并具有(111)晶面的择优取向.Si元素的掺入,使得原薄膜的(111)峰消失,(AlCrTiZrHf)-Six-N薄膜晶粒得到细化,同时生成网状非晶相,从而形成非晶包裹纳米晶的纳米复合结构.随着Si含量的增加,薄膜力学性能先上升后下降,这种趋势归因于所形成的纳米复合结构,并且当Si含量为8％(体积比)时,薄膜的硬度和弹性模量最高,分别为26.6和250.9 GPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘平	上海理工大学材料科学与工程学院	212	1078	16.0	22.0
2	陈小红	上海理工大学材料科学与工程学院	123	622	13.0	18.0
3	李伟	上海理工大学材料科学与工程学院	131	544	12.0	19.0
4	马凤仓	上海理工大学材料科学与工程学院	109	494	12.0	18.0
5	刘新宽	上海理工大学材料科学与工程学院	137	518	12.0	18.0
6	何代华	上海理工大学材料科	66	203	8.0	12.0
7	张柯	上海理工大学材料科学与工程学院	36	52	4.0	6.0
8	牛景锐	上海理工大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0