一种改进湿式氧化过程中颗粒污染导致深坑的方法

• 作者: 唐胜 黄建晟
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路制造 颗粒污染 湿式氧化法 金属污染
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 工艺与制造
• 页码范围: 24-25
• 页数: 2页
• 分类号: TN405
• 字数: 1372字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2019.11.008

摘要

扩散炉管加热制程中分为湿式及干式氧化,厚度较厚的场区氧化层都使用湿式氧化方法,透过使用氢气及氧气混合加热后产生水汽进入到炉管内部,与衬底基板反应生成二氧化硅.发现当混合气体经由Torch传送到炉管内部沉积后发现含有金属镁的残留物.探讨炉管材料因高温热氧化后与水气发生化学变化导致颗粒污染薄膜,透过更改现有连接材料使得微粒的污染减少.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐胜		1	0	0.0	0.0
2	黄建晟		1	0	0.0	0.0