MEMS加速度开关的冲击失效仿真分析与试验

• 作者: 丁丽梅 李世中 杨乐 段荣杰
• 来源期刊: 机电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 加速度开关 冲击载荷 失效仿真 锤击试验
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 机电一体化技术
• 页码范围: 197-200
• 页数: 4页
• 分类号: TH39|TP391.9
• 字数: 3469字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4551.2019.02.016

摘要

针对微机电系统(MEMS)器件的低可靠性问题,以MEMS加速度开关为研究对象,利用ANSYS有限元分析软件,采用"扭梁-悬臂梁-质量块"结构作为MEMS加速度开关主要作用部分,建立了开关的有限元模型.对MEMS加速度开关3个方向上的跌落冲击情况进行了有限元分析;通过仿真计算分析,得到了器件在冲击载荷作用下的最大量级,分析了导致加速度开关不能作用的主要失效模式;利用马歇特锤击实验平台进行了冲击试验,得到了加速度开关冲击失效的极限量级,证明了MEMS加速度开关的主要失效模式为断裂失效.研究结果表明:针对MEMS加速度开关主要失效模式的仿真分析结果可靠,与试验验证结论相符.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李世中	中北大学机电工程学院	83	285	9.0	13.0
2	杨乐	中北大学机电工程学院	10	2	1.0	1.0
3	丁丽梅	中北大学机电工程学院	2	0	0.0	0.0
4	段荣杰	中北大学机电工程学院	2	0	0.0	0.0