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摘要:
采用热丝化学气相沉积法制备纳米金刚石薄膜,并对薄膜进行硫离子注入和真空退火处理.系统研究了退火温度对薄膜微结构和电化学性能的影响.结果表明,硫离子注入有利于提升薄膜的电化学可逆性.在800°C及以下温度退火时,薄膜中晶界处的非晶碳相逐渐向反式聚乙炔相转变,致使电化学性能逐渐变差.当退火温度上升到900°C时,Raman光谱和TEM结果显示此时薄膜中金刚石相含量较多且晶格质量较好,晶界中的反式聚乙炔发生裂解;X射线光电子能谱结果表明,此时C—O键、C=O键、π—π*含量显著增多;Hall效应测试显示此时薄膜迁移率与载流子浓度较未退火时明显升高;在铁氰化钾电解液中氧化还原峰高度对称,峰电位差减小至0.20 V,电化学活性面积增加到0.64 mC/cm2,电化学可逆性远好于600,700,800°C退火时的样品.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 硫离子注入纳米金刚石薄膜的 微结构和电化学性能
来源期刊 物理学报 学科
关键词 纳米金刚石薄膜 硫离子注入 电化学性能 微结构
年,卷(期) 2019,(14) 所属期刊栏目 物理学交叉学科及有关科学技术领域
研究方向 页码范围 350-357
页数 8页 分类号
字数 5171字 语种 中文
DOI 10.7498/aps.68.20190394
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李晓 浙江工业大学材料科学与工程学院 40 284 10.0 15.0
2 蒋梅燕 浙江工业大学材料科学与工程学院 10 47 4.0 6.0
3 胡晓君 浙江工业大学材料科学与工程学院 15 47 3.0 6.0
4 陈成克 浙江工业大学材料科学与工程学院 6 4 1.0 1.0
5 朱政杰 浙江工业大学材料科学与工程学院 1 0 0.0 0.0
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纳米金刚石薄膜
硫离子注入
电化学性能
微结构
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物理学报
半月刊
1000-3290
11-1958/O4
大16开
北京603信箱
2-425
1933
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