为提高TB6钛合金深窄槽电解加工精度,基于电场仿真分析方法,研究了不同加工方式深窄槽侧壁电流密度和电化学溶解速度分布规律,并采用工艺试验方法对持续进给、振动进给、脉冲与振动耦合3种加工方式进行对比研究.试验结果表明:振动频率和持续进给速度固定时,提高振幅能够显著降低槽宽标准差,提高深窄槽加工一致性;持续进给速度相同时,脉冲与振动耦合的平均槽宽和槽宽标准差均较小,加工精度更高.采用脉冲与振动耦合加工方式,深窄槽入口处平均槽宽为2.62 mm,沿深度方向平均槽宽为2.73 mm,入口处槽宽标准差为0.05 mm,沿深度方向槽宽标准差为0.03 mm.