典型功能脆性材料磨削

• 作者: 凌洋 张韬杰 杭伟 王洁 袁巨龙
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 脆性材料 比磨削能 磨削力分布 主轴功率增加率
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1096-1102
• 页数: 7页
• 分类号: TG580.6|TG74
• 字数: 2546字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20192705.1096

摘要

为了研究典型功能脆性材料钽酸锂和硅片的磨削特性,建立了端面磨削模型来计算晶片的比磨削能及其表面的磨削力的分布,并通过实验分析脆性材料的磨削特性.以进给速度作为变量,选取砂轮端主轴磨削过程中功率增加率作为评价磨削特性的指标进行磨削实验,同时采集砂轮端主轴的功率值信号,滤波后计算晶片比磨削能和磨削力的分布.通过端面磨削模型计算可得:钽酸锂的比磨削能是147.46 J/mm3,比硅的大44％,表明磨削去除相同体积的钽酸锂需要更多的能量,钽酸锂晶片表面分布的磨削力比硅片大.磨削过程的主轴功率增加率是预测钽酸锂加工结果的重要指标,在本实验中一旦增加率大于临界值0.6W/s,钽酸锂表面就会产生裂纹.而在相同加工条件下,无论进给速度如何变化,硅片的磨削主轴的功率增加率始终保持稳定,而钽酸锂的主轴磨削过程的功率增加率则与进给速度呈现线性增加关系,这一现象与钽酸锂的机械性质无关,而与物理性质有关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁巨龙	浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室	116	1467	19.0	35.0
2	杭伟	浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室	12	8	2.0	2.0
3	王洁	浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室	18	30	3.0	4.0
7	凌洋	浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室	3	1	1.0	1.0
8	张韬杰	浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室	4	1	1.0	1.0