自动对焦显微镜系统设计及仿真

• 作者: 但西佐 刘璐 王永红 胡慧然 闫佩正 鲍思源
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 显微镜 自动对焦 清晰度 光栅掩膜板
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 智能感知与仪器仪表
• 页码范围: 50-54
• 页数: 5页
• 分类号: TH742|TP39
• 字数: 2458字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19708/j.ckjs.2019.04.217

摘要

设计了一种基于条纹投影的自动对焦显微镜系统.通过红外光源将光栅掩膜板投射到被测物表面,用于对焦判断.通过白光光源进行系统照明.使用带通滤光片分离出由红外光源投射的光栅像,并由线阵CCD采集,用于离焦量和离焦方向的判断.由白光光源照射得到被测物的像,并由面阵CCD接受用于直接观测.使用Tracepro对设计的系统进行仿真,分析得到适用于线阵CCD采集的光栅图的一维清晰度评价函数,并使用系统对不同被测物进行仿真对焦实验与误差分析.仿真结果表明,本系统可对不同被测物进行自动对焦.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王永红	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	58	365	11.0	15.0
2	刘璐	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	20	23	2.0	4.0
3	胡慧然	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	5	8	1.0	2.0
4	但西佐	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	7	31	3.0	5.0
5	闫佩正	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	9	20	3.0	4.0
6	鲍思源	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	3	6	1.0	2.0