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摘要:
针对激光聚变靶丸内表面轮廓高精度无损测量的迫切需求,研制了一套激光聚变靶丸内表面轮廓测量系统.该系统通过最小二乘算法(LSC)计算出靶丸回转偏心量,并利用偏心调整台对靶丸偏心进行自动快速调整;然后,系统软件控制气浮回转轴承驱动靶丸旋转,利用激光差动共焦传感器(LDCS)轴向响应曲线过零点及光线追迹算法精确计算出靶丸内表面轮廓上每个采样点的几何位置;最后,对靶丸内轮廓测量数据进行LSC评定得到其圆度信息.实验证明,靶丸回转偏心的自动调整时间可达22 s,当采样点分别为1024,2048及4096时,靶丸内轮廓测量时间分别可达10,20及40 s,且圆度测量标准差可达19 nm(1024点).该系统实现了靶丸回转偏心的自动快速调整及其内轮廓的高精度 、无损、快速、自动测量.
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文献信息
篇名 激光聚变靶丸内表面轮廓测量系统的研制
来源期刊 光学精密工程 学科 工学
关键词 共焦测量 聚变靶丸 内轮廓 自动偏心调整
年,卷(期) 2019,(5) 所属期刊栏目 现代应用光学
研究方向 页码范围 1013-1023
页数 11页 分类号 TH741
字数 5609字 语种 中文
DOI 10.3788/OPE.20192705.1013
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 邱丽荣 北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室 42 160 7.0 11.0
2 赵维谦 北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室 55 192 8.0 11.0
3 王允 北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室 29 88 5.0 8.0
4 王龙肖 北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室 4 4 1.0 2.0
5 马仙仙 北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室 3 4 1.0 2.0
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研究主题发展历程
节点文献
共焦测量
聚变靶丸
内轮廓
自动偏心调整
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
月刊
1004-924X
22-1198/TH
大16开
长春市东南湖大路3888号
12-166
1959
chi
出版文献量(篇)
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