像素级光学滤波-探测集成器件的研究进展

• 作者: 余晓畅 虞益挺 赵建村
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光谱成像 集成光学器件 光学滤波 光学超表面
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 999-1012
• 页数: 14页
• 分类号: O433|TN256
• 字数: 9392字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20192705.0999

摘要

传统光谱成像系统采用探测器与传统分光元件耦合的方式,体积较大、定制化能力不足.微/纳光机电系统的快速发展,为微型化光谱成像系统提供了解决途径.基于表面等离激元学和光学超表面的微纳滤波结构,可实现像素级的光场调控,有望替代传统滤波器件并具有与成像系统片上集成的潜力.近年来,集成了动态或静态滤波结构的光谱成像微系统已崭露头角,逐渐构建起全新的光谱成像方法,但在原理机制、器件性能、制造成本、集成装配工艺等方面还有许多需要攻克的难题.本文综述了国内外在像素级微纳滤波结构、滤波和成像器件的集成制造和装配等方面的研究进展,梳理了光学滤波-探测集成器件的发展脉络,探讨了其局限性并展望了发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	虞益挺	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	7	7	2.0	2.0
5	余晓畅	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	3	4	1.0	2.0
9	赵建村	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	1	3	1.0	1.0