硅压阻压力传感器优化设计

• 作者: 刘涛 张颖英 邓勇生 高罗强
• 来源期刊: 物联网技术
• 关键词: 硅压阻压力传感器 敏感芯体 信号跳变 硅油 空化 振动
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 全面感知
• 页码范围: 24-25,27
• 页数: 3页
• 分类号: TP39
• 语种: 中文
• DOI: 10.16667/j.issn.2095-1302.2019.08.007

摘要

采用硅压阻敏感芯体制作的传感器具有较高的精度和较好的长期稳定性,被广泛运用于压力传感器中.但普通的硅压阻敏感芯体在测量发动机仪器舱内气体压力和头罩部位气体压力时,出现了信号跳变的异常现象.通过对硅压阻敏感芯体工作原理进行分析,以及对敏感芯体充油工艺的分析,发现普通敏感芯体信号跳变是由于芯体在振动和低气压复合环境下内部硅油出现了空化现象.可选择采用高真空的硅压阻敏感芯体来杜绝芯体内部硅油空化现象的发生,试验证明,该方法可有效解决信号跳变这一问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张颖英		5	3	1.0	1.0
2	邓勇生		2	3	1.0	1.0
3	刘涛		1	1	1.0	1.0
4	高罗强		1	1	1.0	1.0