蓝宝石衬底上石墨烯的制备研究

• 作者: 叶寅 李多生 林奎鑫 洪跃 熊财梓 邹伟
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 化学
• 关键词: 化学气相沉积 石墨烯 蓝宝石 刻蚀
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺·技术
• 页码范围: 178-184
• 页数: 7页
• 分类号: O647
• 字数: 3907字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2019.06.031

摘要

开展了化学气相沉积(CVD)法在蓝宝石衬底上直接生长石墨烯的制备研究和模拟研究,研究衬底表面形貌和生长温度对石墨烯的影响.运用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、拉曼光谱(Raman)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)等对石墨烯生长开展了微结构研究.模拟研究发现,氢气对衬底表面形貌具有重要影响,在H原子的作用下Al—O键被拉长了51.42％,近乎断裂,因而对蓝宝石衬底的表面粗糙度产生影响.实验发现H2对蓝宝石衬底有刻蚀作用,刻蚀后的蓝宝石衬底表面粗糙度Ra变大,不易于石墨烯生长.随着生长温度的升高,生长的石墨烯质量也逐渐变好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李多生	南昌航空大学材料科学与工程学院	19	119	6.0	10.0
2	叶寅	南昌航空大学材料科学与工程学院	5	14	2.0	3.0
3	邹伟	南昌航空大学材料科学与工程学院	4	11	2.0	3.0
4	熊财梓	南昌航空大学材料科学与工程学院	3	0	0.0	0.0
5	林奎鑫	南昌航空大学材料科学与工程学院	4	6	1.0	2.0
6	洪跃	南昌航空大学材料科学与工程学院	3	11	2.0	3.0