静电驱动MOEMS保险机构的设计与试验

• 作者: 刘加凯
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微光机电系统 引信 保险机构 静电微驱动器 光路耦合
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 334-340
• 页数: 7页
• 分类号: TJ430.2|TN253
• 字数: 2546字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20192702.0334

摘要

为了提高引信状态控制的安全性,增强其抵抗引信内、外强电磁干扰的能力,提出了一种应用于微小型引信安全系统的硅基微光机电保险机构.该机构采用光纤作为过程能量传输的载体,通过静电驱动方式实现对光纤光路错位与对准的控制,达到引信安全与解除保险的目的.设计了MOEMS保险机构的总体结构和耦合光路,并对它进行SOI+DRIE工艺设计和加工.通过开展静电微驱动器性能测试试验和光路性能测试试验得出,静电微驱动器能够实现130μm的大位移输出,MOEMS保险机构的解除保险时间和恢复保险时间分别为13 ms和5 ms,光能传输效率为46.1％.所设计的MOEMS保险机构能够满足功能要求,具备天然的抗电磁干扰能力,有效提高了引信的本征安全性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘加凯	西安交通大学机械工程学院	13	11	2.0	2.0