偏场下薄膜体声波谐振器频率偏移的摄动分析

• 作者: 张大鹏 许夏茜 高杨
• 来源期刊: 中国测试
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 薄膜体声波谐振器 频率偏移 摄动 有限元
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 测试理论
• 页码范围: 12-17
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.1|TB931
• 字数: 3776字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11857/j.issn.1674-5124.2019010042

摘要

为准确预测测量力、热场的薄膜体声波谐振器(FBAR)传感器的灵敏度,采用叠加于有限偏场之上的小增量场理论描述,提出一种摄动与有限元联合求解方法.该方法利用COMSOL有限元软件计算FBAR传感器受外界载荷下其压电层AlN的平均偏置应力,进一步在COMSOL中计算FBAR的谐振频率与相应的振型,将有限元的计算数据代入摄动积分公式中,得到FBAR传感器的频率灵敏度.并以一个圆膜片FBAR为案例,介绍该方法用于计算圆膜片FBAR频率-集中力灵敏度的详细过程.采用摄动与有限元联合求解方法得到的频率灵敏度为41.3 MHz/N,与文献报道的实验结果50 MHz/N接近,验证了方法的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
2	张大鹏	西南科技大学信息工程学院	9	7	1.0	1.0
3	许夏茜	西南科技大学信息工程学院	8	5	2.0	2.0