PVD导热涂层的研究综述

• 作者: Yongda Zhen 余斌 孙德恩
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 导热涂层 热导率 热阻 声子散射 界面结构
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 表面强化及功能化
• 页码范围: 158-166
• 页数: 9页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 4684字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2019.06.018

摘要

首先从导热涂层的应用背景出发,分析了导热涂层研究的必要性,其次探讨了导热涂层的导热机理和影响涂层导热的宏观和微观因素.在此基础上,阐述了PVD导热涂层的研究现状,重点分析了SiC、A1N、DLC三种常见的具有较大应用潜力的PVD导热涂层.声子散射是影响涂层热导率的直接原因,涂层内部同位素、杂质、缺陷及晶界等均会引起声子发生散射,而界面声子散射引起的界面热阻对涂层导热性能影响巨大,通过合理选择制备技术和精确控制工艺参数,在一定程度上能改善涂层的导热性能,提高热导率.在此基础上,笔者提出了离子源辅助高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)的工艺配合,提高涂层质量和致密度,优化界面结构,降低界面热阻,以期实现涂层的高导热性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙德恩	重庆大学材料科学与工程学院	11	62	6.0	7.0
5	余斌	重庆大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0