光纤激光微加工钕铁硼工艺特性研究

• 作者: 仝志宏 任宁 刘国东 祝锡晶 黎相孟
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光刻蚀 光纤激光 钕铁硼 边缘形貌
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 仪器、仪表科学与技术
• 页码范围: 1760-1765
• 页数: 6页
• 分类号: TN249
• 字数: 4293字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13433/j.cnki.1003-8728.20190171

摘要

为寻求一种新型高效的钕铁硼微加工手段,探究了光纤激光刻蚀1.5 mm厚的钕铁硼工艺实验,分析了各工艺参数对刻蚀深度、沟槽表面形貌和热影响区的影响规律.结果 表明,刻蚀深度随激光功率的增大而增大,当激光功率为12 W时,深度增加到120.1 μm,随后其增长趋势逐渐趋于平缓.较低的激光频率,能获得较大的刻蚀沟槽深度,最大可达149.3 μm,但沟槽边缘形貌变差.适宜的低速刻蚀,不仅能获得较深的沟槽,而且还能保证材料去蚀量的同时,获得较好的边缘形貌和较小的热影响区.扫描次数增大到6次时,激光深度增大到139.5 μm,此时的沟槽槽壁挂渣最少,边缘形貌最佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	祝锡晶	中北大学先进制造技术山西省重点实验室	137	499	10.0	15.0
2	黎相孟	中北大学先进制造技术山西省重点实验室	14	5	2.0	2.0
3	刘国东	中北大学先进制造技术山西省重点实验室	21	53	4.0	6.0
4	仝志宏	中北大学先进制造技术山西省重点实验室	4	2	1.0	1.0
5	任宁	中北大学先进制造技术山西省重点实验室	4	2	1.0	1.0