铌酸锂晶体的研磨损伤层研究

• 作者: 吴婧 孙军 张玲 李清连 许京军
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 铌酸锂晶体 研磨 损伤层
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 883-888
• 页数: 6页
• 分类号: O786
• 字数: 4525字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2019.05.019

摘要

研究了铌酸锂晶体在研磨过程中产生的表面损伤层.首先通过激光共聚焦显微镜观察了研磨后晶体的表面形貌,通过原子力显微镜测试了研磨后晶体表面的粗糙度,分别通过角度抛光法及直接抛光层层去除的方法测量了损伤层的深度.分析了损伤层的组成及影响因素,对优化研磨工艺参数、提高研磨效率具有指导意义.