光刻胶级214-磺酰氯的生产方法及应用

• 作者: 王树立
• 来源期刊: 辽宁化工
• 关键词: 光刻胶 214-磺酰氯 生产方法 应用
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 工艺与装备
• 页码范围: 773-775,778
• 页数: 4页
• 分类号: TQ245.21
• 语种: 中文

摘要

论述了光刻胶级214-磺酰氯工艺路线的选择,生产方法、质量标准及分析方法,对具体工艺操作过程进行了详细的说明,通过该工艺的操作实现了理想的收率结果,同时对214-磺酰氯在光刻胶中的作用、光刻胶的发展历史、使用原理以及在集成电路领域上的广泛应用,以及国内外光刻胶的科技动态和发展前景等进行了详细阐述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王树立		2	0	0.0	0.0