基于参考物镜的数字全息显微相位畸变自动补偿

• 作者: 刘炜华 周鹏飞 马树军
• 来源期刊: 东北大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 离轴 数字全息 显微 参考物镜 多项式拟合 畸变补偿
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 1144-1148,1171
• 页数: 6页
• 分类号: O436
• 字数: 3032字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12068/j.issn.1005-3026.2019.08.015

摘要

建立了参考物镜与数值拟合相结合的方法,对离轴数字全息显微系统的相位畸变进行补偿.因为物镜带来的光波曲率差异,预放大数字全息显微系统往往产生附加相位因子.在参考光路中引入相同参考物镜,利用物理方法初步消除因为曲率问题带来的相位畸变.参考物镜加入以后,相位畸变主要来自三个方面.衍射计算时使用数字模拟平面参考光,离轴结构存在空间角,产生一次相位畸变;实际记录到的全息图,参考物镜实验误差导致了残余二次相位畸变;光路中其他光学元件形成像差,无法获取正确的微结构三维形貌.数值上通过多项式对整个相位表面作曲面拟合,利用相位表面与该拟合曲面的差值,提取样品真实相位分布.只用一幅全息图,经过一次多项式拟合便实现了多次相位畸变的自动补偿.以USAF分辨率板作为微结构样品作形貌测量,验证了该方法的准确有效.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马树军	东北大学机械工程与自动化学院	17	12	2.0	2.0
2	周鹏飞	东北大学机械工程与自动化学院	8	6	2.0	2.0
3	刘炜华	东北大学机械工程与自动化学院	2	1	1.0	1.0