温度对硅-蓝宝石压力传感器影响研究

• 作者: 李欣 邹兴 郭占社 黄漫国
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅-蓝宝石 双层膜片 有限元仿真 热应力 测试精度
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 智能感知与仪器仪表
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2633字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19708/j.ckjs.2019.06.006

摘要

针对硅-蓝宝石压力传感器在高温环境下测量精度较差的问题,以双层敏感膜片结构为基础,研究了温度对传感器的影响;通过对温度场及热应力的理论分析,证明了材料热膨胀系数不一致所产生的额外热应力,将引起测量误差;相应的ANSYS有限元仿真及实验也表明,温度效应对压力传感器的测试精度会产生较大的影响,且压力传感器的输出与温度值之间存在一定的规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭占社	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	29	89	5.0	8.0
2	邹兴	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	3	3	1.0	1.0
3	黄漫国		3	0	0.0	0.0
7	李欣		4	0	0.0	0.0