自研角度计量转台在圆分度器件校准中的应用

• 作者: 刘品宽 唐强 夏仰球 李梦阳 黄明
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 测角转台 角度校准 分度误差 误差分析 不确定度评定
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 110-120
• 页数: 11页
• 分类号: TB922|TH712
• 字数: 4822字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20192701.0110

摘要

为了实现亚角秒级圆分度器件的高精度校准,建立了基于角度计量转台和自准直仪的角度测量系统,研究了基于无实物基准的圆分度误差检测方法和控制测量系统引入误差的策略.简要介绍了基于真空预载气浮支承和超声马达驱动的自研转台的结构,搭建了整个测量系统.利用圆封闭原理和最小二乘原理分析了圆分度误差的测量算法,讨论了测量过程的误差来源,并分析了抑制各误差源的方法.最后,在构建的测量系统上测量了多齿分度台的圆分度误差,并对测量不确定度进行了分析.实验结果表明:自研计量转台和被校多齿分度台的最大圆分度误差分别为0.12″和0.15″,测量不确定度为0.05″(k=2).通过比对,表明测量系统能够实现亚角秒级圆分度误差的高精度校准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄明	上海交通大学机械与动力工程学院	73	573	14.0	19.0
3	刘品宽	上海交通大学机械与动力工程学院	35	216	7.0	13.0
4	李梦阳	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	12	15	2.0	3.0
7	唐强	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	2	8	1.0	2.0