FBAR板上测试技术综述

• 作者: 刘婷婷 许夏茜 高杨
• 来源期刊: 中国测试
• 学科: 工学
• 关键词: FBAR 测试夹具 校准 S参数
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 测试理论
• 页码范围: 11-15,29
• 页数: 6页
• 分类号: TN06|TM934.72
• 字数: 4000字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11857/j.issn.1674-5124.2018100090

摘要

随着对薄膜体声波谐振器(FBAR)器件性能要求的增高,FBAR器件参数的精确测试变得十分关键,该文从测试夹具结构以及对测试夹具的去嵌入校准这两个FBAR参数测试精度要素考虑,综述FBAR板上测试技术的研究现状,讨论测试夹具结构设计过程中的寄生效应、阻抗匹配以及夹结构设计等问题,并分析去嵌入校准的原理、误差模型以及各校准方法的优缺点.通过降低寄生效应、优化阻抗匹配、改善校准方法、优化误差模型可提高FBAR板上测试的准确性,并以此给出一套板上测试夹具设计及测试流程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
2	刘婷婷	西南科技大学信息工程学院	36	212	9.0	12.0
3	许夏茜	西南科技大学信息工程学院	8	5	2.0	2.0