三维表面粗糙度测量方法综述

• 作者: 丁思源 何宝凤 刘柄显 石照耀 魏翠娥
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 三维表面粗糙度 测量方法 接触式测量 非接触式测量 纳米表面粗糙度分析
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 78-93
• 页数: 16页
• 分类号: TH71
• 字数: 11599字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20192701.0078

摘要

表面粗糙度测量是评估零件表面特性的重要手段.经过二十多年的发展,三维表面粗糙度逐渐成为反映工件表面特性的重要指标.本文总结并比较了接触式测量法、非接触式测量法和纳米表面粗糙度分析法中常用三维表面粗糙度的测量原理及特点.针对每种测量方法的发展现状,本文讨论了其适用范围及局限性,并指出了未来的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石照耀	北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心	144	1767	19.0	39.0
2	刘柄显	北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心	3	32	2.0	3.0
3	丁思源	北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心	3	32	2.0	3.0
4	何宝凤	北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心	4	39	3.0	4.0
5	魏翠娥	北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心	3	39	3.0	3.0