基于单壁碳纳米管的压阻式柔性传感器

• 作者: 吴英 张杰 杨兴 郑富中
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性传感器 单壁碳纳米管 介电电泳 区域选择性电沉积Au
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1009-1015
• 页数: 7页
• 分类号: TH823
• 字数: 5023字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2019.07.009

摘要

一维纳米材料与微结构结合的纳器件制造过程,实现了微纳加工工艺上的创新升级,有可能突破微米级器件的性能极限.首先利用传统的硅微加工技术,在综合性能优异的聚酰亚胺PI(Polyimide)薄膜上制作金(Au)微电极,形成排列有序的平行电极对;然后通过交流介电电泳的方法在微电极对间实现单壁碳纳米管SWNTs(Single-Walled Carbon Nanotubes)一维定向排布;接着采用区域选择性电沉积技术定域沉积Au压覆SWNTs,改善SWNTs与电极的接触特性.最后,针对基于SWNTs的柔性微纳传感器进行了力电特性测试.结果表明:在环境温度为(23±5)℃,湿度为65±15％RH,0.1 V工作电压下,压阻因子约为443,精度约为5.16％.上述研究结果在柔性微纳器件的制作方面显示了一定的应用前景,为实现超微型化和高功能密度化的柔性器件铺平道路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴英	重庆科技学院智能技术与工程学院	25	127	6.0	10.0
2	杨兴	清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室	15	120	3.0	10.0
3	郑富中	四川轻化工大学机械工程学院	1	1	1.0	1.0
7	张杰	重庆科技学院智能技术与工程学院	3	3	1.0	1.0