基于微机械加工工艺的声子晶体器件

• 作者: 徐德辉 熊斌 郑忱煜
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 声子晶体 微机电系统 禁带
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1418-1423
• 页数: 6页
• 分类号: TN65|TN011.4
• 字数: 3098字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2019.08.007

摘要

声子晶体是一种周期复合人工超材料.声子晶体具有独有的声学特性-声学禁带,使其在声波控制和传输领域具有极强的应用潜力.利用微机械加工工艺制备的硅基声子晶体器件,可在微机电系统中实现高频弹性波的定向传输和控制,以及对弹性波能量的局域放大.设计了两种基于MEMS工艺的器件,分别用于实现功分器和谐振器的功能.内容覆盖了硅基声子晶体器件的背景、原理、设计、制造和表征等方面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊斌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室	54	412	11.0	16.0
2	徐德辉	中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室	12	28	3.0	4.0
3	郑忱煜	中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室	1	0	0.0	0.0