基于ANSYS Workbench的铜质研磨盘热结构耦合分析

• 作者: 吴宇航 周海 孙亮 宋放 韦嘉辉
• 来源期刊: 机械工程与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 研磨盘 氧化镓 热变形 热结构耦合 ANSYS Workbench
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 1-4,7
• 页数: 5页
• 分类号: TP391.7
• 字数: 2927字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6413.2019.02.001

摘要

在研磨氧化镓晶片时,由于铜质研磨盘的导热系数和热膨胀率较大,因此研磨盘各个部位的热变形量也会因为温度的不同而不同.通常在加工前需要对研磨盘加工时的变形量进行预测,并对研磨盘表面进行平面补偿.选取了3组不同补偿角的研磨盘,基于ANSYS Workbench对它们分别进行瞬态热结构耦合分析.结果表明:当补偿角为0·003°时铜盘补偿效果最好.该方法为不同研磨工况下研磨盘补偿角的选定提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周海	盐城工学院机械优集学院	123	393	10.0	14.0
2	宋放	安徽理工大学机械工程学院	2	0	0.0	0.0
4	韦嘉辉	盐城工学院机械优集学院	3	1	1.0	1.0
7	吴宇航	盐城工学院机械优集学院	1	0	0.0	0.0
8	孙亮	盐城工学院机械优集学院	1	0	0.0	0.0