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高能透射电子束照射聚合物薄膜的带电效应
高能透射电子束照射聚合物薄膜的带电效应
作者:
李维勤
蒲红斌
霍志胜
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
带电效应
数值模拟
透射电流
输运
摘要:
高能透射电子束照射下聚合物薄膜的带电效应严重影响其电子显微学检测的可靠性.采用数值计算方法研究了聚合物薄膜的带电效应.基于Monte Car1o方法模拟了电子的散射过程,采用有限差分法处理电荷的输运、俘获和复合过程,获得了净电荷、内建电场、表面出射电流、透射电流等动态分布特性,分析了薄膜厚度、电子束能量对相关带电特性的影响.结果表明:由于近表面电子的出射,样品内部净电荷、空间电位沿入射方向均呈现先为正、后为负的分布特性,导致部分出射电子返回表面以及内部沉积电子向基底输运形成电子束感生电流;随着电子束照射,由于薄膜带电强度较弱,透射电流随时间保持不变,实际出射电流及样品电流分别下降和上升至一个稳定值.薄膜厚度的增加使带电过程的瞬态时间增加,引起表面电位下降以及实际出射电流、样品电流增大;电子束能量的升高使透射电流增大,样品电流减小,引起表面正电位下降及实际出射电流的减小.
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内容分析
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文献信息
篇名
高能透射电子束照射聚合物薄膜的带电效应
来源期刊
物理学报
学科
关键词
带电效应
数值模拟
透射电流
输运
年,卷(期)
2019,(23)
所属期刊栏目
总论
研究方向
页码范围
19-28
页数
10页
分类号
字数
6574字
语种
中文
DOI
10.7498/aps.68.20191112
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
李维勤
西安理工大学自动化与信息工程学院
5
9
2.0
3.0
3
蒲红斌
西安理工大学自动化与信息工程学院
33
119
7.0
9.0
6
霍志胜
西安理工大学自动化与信息工程学院
5
0
0.0
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传播情况
被引次数趋势
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引文网络
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2019(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
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数值模拟
透射电流
输运
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
主办单位:
中国物理学会
中国科学院物理研究所
出版周期:
半月刊
ISSN:
1000-3290
CN:
11-1958/O4
开本:
大16开
出版地:
北京603信箱
邮发代号:
2-425
创刊时间:
1933
语种:
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
总被引数(次)
174683
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
陕西省自然科学基金
英文译名:
Natural Science Basic Research Plan in Shaanxi Province of China
官方网址:
项目类型:
学科类型:
期刊文献
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